Die neuen Pura Plus-Messgeräte wurden speziell für die jüngsten Änderungen der Anforderungen der Wafer-Industrie an Gerätegrößen und -indikatoren entwickelt. Pura Plus ist ein Online-Spuren-Feuchtigkeits-Transmitter, der mehrfach in einer Halbleiterfabrik am Ende der Gasversorgung zur Produktionslinie installiert wird, um Anwendungen von ultrareinen Inertgasen zu überwachen. Die Verteilung von Gassystemen in der Anlage ist komplex und umfasst viele Zweige, Knoten und Einsatzstellen. Daher kann nach den herkömmlichen Feuchtigkeitsüberwachungspunkten Feuchtigkeit durch kleine Leckagen, ineffizientes Systemdesign, Komponentenausfälle oder Prozessfehler eindringen, was die nachgelagerte Nutzung beeinflusst. Im Verteilungssystem installierter Pura Plus bietet eine schnelle Reaktionsanweisung bei 20 ppb Luftfeuchtigkeit. Eine Reaktionszeit von 1 ppb ist weniger als 1 Minute. Highlights Schnelle Reaktion auf Feuchtigkeitsschwankungen auf ppb-Ebene Empfindlichkeit bei niedriger Feuchtigkeit (< 1 ppb) Neues Konzept für die Mehrpunktmessinstallation Niedrige Wartungsanforderungen Statusanzeige mit Signallampe Warn- und Alarmpunkte einstellbar Modbus Netzwerkkompatibilität Mehrkanäle-Software für die Fernsteuerung (UHP) Rohrleitungsprüfung für ultrareine Gase
Technische Indikatoren
Reaktionsgeschwindigkeit < 1 Minute 20 ppb Reaktionszeit für Feuchtigkeitsänderungen von 1 ppb Feuchtigkeitsmessung 1 ppb bis 20.000 ppm Druckbereich 0 bis 10 bar Druckbeständigkeitsklasse 300 bar Leckagetest 0-9 mbar l/s Arbeitsflussbereich 1 bis 10 l/min Betriebstemperatur 5 bis 40°C Lagertemperatur 30 bis 70°C Stromversorgung 20 ~ 28 V Gleichstrom Stromverbrauch Maximal 5 W Externe Sicherungsklasse 500 mA Schnellschmelztyp Datenausgabe Modbus ASCII Zweileitung RS485 Warn- und Alarmausgänge 2 Wege Maximale Spannung 40 V Gleichstrom Maximaler Strom 100 mA Materialien mit Gaskontakt Gehäusematerial Edelstahl AISI 316L, Elektropolierung der Innenfläche <10 Ra Sensorstruktur Aluminiumelektrolyte, Obervergoldeter Schutz, Untere Aluminiumschicht Innenvolumen 4,4 cm³ Gewicht 450g Luftweg Schnittstelle 1/4' m VCR Elektrische Schnittstelle 9 - Pin D - Typ m Schnittstelle Elektromagnetische Kompatibilität EN50081-2 und EN50082-2