Phenom ProX ist die fünfte GenerationElektroskop-SpektrumaschineDas integrierte Bildanalyse-System von YES* erhöht die Auflösung um 20%, erhöht den Anwendungsbereich und eignet sich für Proben mit Elektronenstrahlempfindlichkeit. Mit diesem System kann sowohl die Oberflächenformation der Probe beobachtet werden als auch ihre elementare Zusammensetzung analysiert werden. Bei der Untersuchung der Probe wurde die morphologische Information der Probe nur die Hälfte des Problems gelöst. Oft ist es auch notwendig, Informationen über die Elementzusammensetzung der Probe zu erhalten. Mit einem vollständig integrierten, speziell entwickelten SpektrometerElektroskop-SpektrumaschinePhenom ProX löst alle oben genannten Probleme perfekt. Ein Spektrometer ist ein Analysegerät, das Röntgenstrahlen erzeugt, basierend auf einer Probe, die durch einen Elektronenstrahl angeregt wird. Die Spektrometer von Phenom sind sowohl in Software als auch in Hardware integriert*Das Phenom ProX System. Die Elementidentifikationssoftware (EID) ermöglicht es den Benutzern, mehrere Punkte zu analysieren und die Elementbestandteile einer Probe zu erkennen. Darüber hinaus kann die Software auf die Funktion der Elementanalyse Mapping erweitert werden. Die Schritt-für-Schritt-Bedienungsoberfläche erleichtert die Erfassung und Exportierung von Analysedaten.
| Phenom Pro | Phenom ProX | Phenom XL | |
| Optische Vergrößerung | 20 bis 135 X | 20 bis 135 X | 3 bis 16 X |
| Elektronische optische Vergrößerung | 80 - 150.000 X | 80 - 150.000 X | 80 - 100.000 X |
| Auflösung | Über 8 nm | Über 8 nm | Über 14 nm |
| Zahlen vergrößern | Max. 12 X | Max. 12 X | Max. 12 X |
| Optische Navigationskamera | Farbe | Farbe | Farbe |
| Beschleunigte Spannung | 5 Kv - 15 Kv kontinuierlich einstellbar | 5 Kv - 15 Kv kontinuierlich einstellbar | 5 Kv - 20 Kv kontinuierlich verstellbar |
| Vakuummodus | Hochauflösungsmodus | Hochauflösungsmodus | Hochauflösungsmodus |
| Reduzierter Ladungseffektmodus | Reduzierter Ladungseffektmodus | Reduzierter Ladungseffektmodus | |
| 高真空模式 | |||
| Detektoren | Elektronendetektor für Rückstreuung | Elektronendetektor für Rückstreuung | Elektronendetektor für Rückstreuung |
| Sekundärelektronischer Detektor (optional) | Sekundärelektronischer Detektor (optional) | Sekundärelektronischer Detektor (optional) | |
| Probengröße | Großer Durchmesser 32 mm (Ø) | Großer Durchmesser 32 mm (Ø) | Größe 100 mm x 100 mm |
| 36 0,5-Zoll-Probentasche können gleichzeitig geladen werden | |||
| Probenhöhe | Höhe 100 mm | Höhe 100 mm | Höhe 65 mm |
