Technische Merkmale der UV-Tiefengraviermaschine URE-2000/17:
Ausrichtung mit Dual-Vision-Mikroskop; Kugelschale ausgerichtet, Single-Chip-Maschinensteuerung, Touch-Schalter, einfache Bedienung, praktische Leistung.

1Technische Parameter

lBelichtungsbereich:4Zoll

lBelichtungswellenlänge:365nm

lAuflösung:1.5mm(Klebstoff dick2 mmder Kleber)

lAusrichtungsgenauigkeit:±1mm

lGesamtbewegungsbereich der Maske:X：15mm;Y:15mm

lMaskengröße:2.5Zoll,3Zoll,4Zoll,5Zoll

lProbengröße: Durchmesserf15mm--f100mm

Dicke0.1mm--6mm(Erweiterbar als15mm)

lExpositionsmethode: Timing (Countdown-Methode) und Dosierung

lUngleichmäßigkeit der Beleuchtung: 5%（f100mmUmfang)

lDual-Blickfeldausrichtung-Mikroskop: sowohl durch die BrilleVisualisierungAusrichtung, kann auch durchgeführt werdenCCD+Monitorausrichtung, optische Aufnahme, optisches Maximum400Vielfach, optisch+Elektronische Vergrößerung800doppelt

Objektive drei Paare:4doppelt,10doppelt,20doppelt

Drei Brillen:10doppelt,16doppelt,20doppelt

lMaske im Verhältnis zu Probe Bewegung:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6Grad

lQuecksilberlampenleistung:200W(Gleichstrom)

lBelichtungsenergiedichte:6mW/cm

2Außengröße:650mm(lang)?600mm(Breite)?900mm(hoch)

3Konfiguration

（1(Expositionskopf)

l200WImport Gleichstrom-Hochdruck-Quecksilberlampe(Osram Deutschland)

lXYZQuecksilberlampenregulator

lOptische Systeme

lKühlventilator

（2(Ausrichtung der Werkstätte)

lMaske Demonstration Gesamtbewegungstisch

lMaske Probe Relative Bewegung Tisch

lDrehtisch

lProbenausgleichgerät,Manuell

lProbenfokus, manuell

lAufnahmebühne3einer (f50mm、?75mm、?100mm）

lMaskenklemmer4einer (2.5Zoll,3Zoll,4Zoll,5Zoll)

lMaskenziehmechanismus

（3(Ausrichtung des Mikroskops)

lLichtquellen (Zubehör)2nur) Stromversorgung

lZwei-Auge-Zwei-Sichtfeld-Ausrichtung-Mikroskop-Körper

lBrille3Ja.10doppelt,16doppelt,20doppelt, insgesamt6ein)

lObjektive3Ja.4doppelt,10doppelt,20doppelt, insgesamt6ein)

lCCD(Taiwan)

l21Zoll LCD-Display

（4Elektronisches Steuerungssystem

lQuecksilberlampe löst Stromversorgung aus(200WGleichstrom-Quecksilberlampe)

lEin-Chip-Steuersystem

lKontrollgehäuse

（5Pneumatische Systeme

lZylinder, Elektromagnetventile, Druckdämpfungsventile, Pneumatikschalter usw.

lElektromagnetventilantrieb

lPneumatische Messgeräte

（6(Andere Anhänge)

lVakuumpumpe 1

lRohrleitung

（7Technische Informationen

lGebrauchsanleitung zur Reparatur

lMikroskop Gebrauchsanleitung