1Technische Merkmale

lHohe Vergrößerungsrate Dual-Blickfeldmikroskop und22Breitbild LCD-Display beobachtet gleichzeitig den Ausrichtungsprozess und bietetUSBAusgabe; Für eine hohe Präzision und zur Erkennung von Belichtungsergebnissen sowie für eine einfache Lagerung

lMit umgekehrter Beleuchtung ist der Austausch von Quecksilberlampen bequemer, Wärmeabkühlung und Lichtschutz besser

lAusrichtungs- und Belichtungspositionsarbeit mit doppelter automatischer Umschaltung

lEinsatz von Embedded Computern+Touchscreen-Bedienung, bequemer und stilvoller Bedienung

lDie Auflage und Ausgabe sind sehr bequem, hoch automatisiert und einfach zu bedienen. Hochschullehre und Forschung (gute Zuverlässigkeit, einfache Demonstration) und Fabriken(Hohe Effizienz)Besonders geeignet

2Technische Parameter

lBelichtungsbereich:100mm×100mm(kann auf6Zoll)

lBelichtungswellenlänge:365nm

lAuflösung:≤1mm(Klebstoff dick1.5 mmder Kleber)

lAusrichtungsgenauigkeit:±0.6mm

lBewegungsbereich des Mikroskops:X：10mm;Y:10mm

lMaskengröße:2.5Zoll,3Zoll,4Zoll,5Zoll

lProbengröße: Durchmesserf15mm--f100mm(Unregelmäßige Filme)

Dicke0.1mm--6mm

lExpositionsmethode: Timing (Countdown-Methode) und Dosierung

lMit Vakuumkontaktbelichtung, HartkontaktbelichtungLichtDruckbelichtung und Nahbelichtung vier Funktionen

lUngleichmäßigkeit der Beleuchtung: 3%（f100mmUmfang)

lDual-Blickfeldausrichtung-Mikroskop: sowohl durch die BrilleVisualisierungAusrichtung, kann auch durchgeführt werdenCCD+Monitorausrichtung, optische Aufnahme, optisches Maximum400Vielfach, optisch+Elektronische Vergrößerung800doppelt

Objektive drei Paare:4doppelt,10doppelt,20doppelt

Drei Brillen:10doppelt,16doppelt,20doppelt

lDie Ausgleichung des Kontaktdrucks sorgt für eine Wiederholung durch den Sensor

lDigitale Einstellung der Ausrichtung und der Abstand

lAusgestattet mit Druckmodul-Schnittstelle und nahe an Modul-Schnittstelle

lMaske im Verhältnis zu Probe Bewegung:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lMaximale Schwere:400mm（SU8Klebstoff, der Benutzer zur Verfügung stellt, die Erkennungsbedingungen)

lLichtparallelität:3?

lBelichtungsenergiedichte:>25mW/cm2,Beleuchtungstemperatur<35?C

lEinschichtbelichtung mit einem Klick fertig

lBall schwimmen+Drei Klauen finden

lQuecksilberlampenleistung:350W(Gleichstrom,Import）

3Außengröße:1400mm(lang)?900mm(Breite)?1500mm(hoch)

4Konfiguration

（1(Expositionskopf)

lKaltelichtellipskop

l350WImport Gleichstrom-Hochdruck-Quecksilberlampe(Osram Deutschland)

lXYZQuecksilberlampenregulator

lKühlventilator

lOptische Systeme: Fixierte Lichtleiste, variable Lichtleiste, Verschlüsser, Direktspiegel1Direktspiegel2Linsengruppe (79eine Linse),iLinienfilter, Feldspiegel, Kaltlichtspiegel1Spiegel2

（2(Ausrichtung der Werkstätte)

lLichtgravierbasis

lStationsschalter (Zylinder)

lMaske Demonstration Gesamtbewegungstisch

lMaske Probe Relative Bewegung Tisch

lDrehtisch

lProbenausgleichgerät,Drei Punkte automatisch abgeschlossen

lProbenfokus, Motoreinstellung

lSubstrate-Abzug-Mechanismus

lAufnahmebühne4Einer:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(auf Anfrage des Nutzers reduziert)

lMaskenklemmer4Einer:2.5Zoll,3Zoll,4Zoll,5Zoll (auf Anfrage des Benutzers erhältlich)

lProbenaufzug nach oben und nach unten

（3(Ausrichtung des Mikroskops)

lLichtquelle, Stromversorgung

lZwei-Auge-Zwei-Sichtfeld-Ausrichtung-Mikroskop-Körper

lBrille3Ja.10doppelt,16doppelt,20doppelt, insgesamt6ein)

lObjektive3Ja.4doppelt,10doppelt,20doppelt, insgesamt6ein)

lCCDAusrichtungssystem,22Zoll LCD-Display

（4Elektronisches Steuerungssystem

lQuecksilberlampe löst Stromversorgung aus(350WGleichstrom-Quecksilberlampe)

lEin-Chip-Steuersystem

lBedienfeld

lKontrolltisch

（5Pneumatische Systeme

lZylinder, Elektromagnetventile, Druckdämpfungsventile, Pneumatikschalter usw.

lElektromagnetventilantrieb

lPneumatische Messgeräte

（6(Andere Anhänge)

lVakuumpumpe 1

lEin Luftkompressor

lSchnittstellenrohrung

（7Technische Informationen

lGebrauchsanleitung zur Reparatur

lProduktprüfung Zertifikat